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六氟化硫SF6

1.別名·英文名

Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．

2.用途

電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等的氣絕緣體，制冷劑六氟化硫，示蹤裝置，醫療，半導體制造中的蝕刻、化學相淀積、標準氣，檢漏氣體，色譜儀的載氣。

3.制法

在高溫下硫和氟反應制得。

S+3F2→SF6

4.理化特性

分子量： 146.054

熔點(224kPa)： -50.8℃

升化點(101.325kPa)： -63.7℃

液體密度(-50.8℃)： 1880kg/m3

氣體密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3

相對密度(氣體，空氣=1六氟化硫，20℃，101.325kPa)：5.114

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg

臨界溫度： 45.5℃

臨界壓力： 3759kPa

臨界密度： 736kg/m3

壓縮系數：

溫度

壓縮系數

100kPa

1000kPa

2000kPa

3000kPa

15

0.9886

0.8656

50

0.9926

0.9137

0.8113

0.6760

熔化熱(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg

氣化熱(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg

比熱容(氣體，25℃有毒氣體檢測儀，101.325kPa)：CP=665.18J/(kg·K)

(液體，225K)： C=759.14J/(kg·K)

蒸氣壓(-20℃)： 680kpa。

(0℃)： 1250kPa

(30℃)： 2680kPa

粘度(101.325kPa，0℃)：0.0142mPa·S

(液體甲苯報警器，229.85K)：0.500mPa·S

表面張力(-50℃)： 11.63mN/m

導熱系數(101.325kPa，0℃)：0.01206W/(m·K)

折射率(氣體，0℃，101.325kPa)： 1.000783

六氟化硫在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒。對熱穩定，化學性質不活潑。在500℃以上赤熱狀態下也不分解，在800℃以下很穩定。在250℃時與金屬鈉反應。沒有腐蝕性，可以用通用材料，不腐蝕玻璃。電絕緣性能和消弧性能好，絕緣性能為空氣的2～3倍，而且氣體壓力越大，絕緣性能越增高。藥物學性質不活潑，沒有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于鹽酸和氨。水中的溶解度為：5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分壓101.325kPa，25℃)。介電常數為：1002049(氣體，101.325kPa，25℃)。在21.1℃時S.P.為2308kPa。

5.毒性

最高容許濃度：10ppm(12mg/m3)

六氟化硫在生理學上是不活潑的六氟化硫，在藥理學上認為是惰性氣體。但是當含有SF4等雜質時便變成有毒物質。當吸入高濃度SF6時可出現呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜變藍、全身痙攣等窒息癥狀。

6.安全防護

用氣裝置可用肥皂液檢漏。SF6無腐蝕性，可以使用不銹鋼、銅、鋁等通用材料。發生火災時可用水和砂土滅火。泄漏的氣體，可導入苛性鈉和消石灰的混合溶液中處理，或者把泄漏的氣瓶放入通風櫥內。

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